Sphere

Sphere

Sphere

Sphere Halterungen bieten hohe Wirtschaftlichkeit und beste Qualität für rotationssymmetrische Substrate, die überwiegend stirnseitig, aber auch am Umfang beansprucht werden (Bohrer, Fräser, Stempel, Gewindeschneider, Senker, etc.). Durch die Ausrichtung der Funktionsflächen in geeignetem Winkel zu den Verdampferquellen kann einerseits die Schichtdickenverteilung optimal auf die Anwendung eingestellt werden. Außerdem können so viele Produkte chargiert werden, wie mit kaum einem anderen Halterungssystem.

Zur Auswahl geeigneter Sphere Halter benötigen Sie fon Ihrem Substrat Durchmesser und Länge, sowie den maxiamlen Durchmesser ihrer Planetenteller. Durch die Neigung der Substratachsen werden Sphere Teller im Durchmesser größer, wenn sie mit längeren Substraten bestückt werden. Sphere Teller müssen auf spezielle Sphere Adapter gesteckt werden, damit die Substrate aus dem Inneren des Tellers angetrieben werden.

 

 

 

 


Sphere Adapter

Sphere Adapter

Da bei der Sphere Halterung die Achse (Baumstange) nicht rotieren darf, sind für alle Beschichtungsanlagen spezielle Adapter erforderlich. Die Adapter passen mit der Unterseite auf die Planetenteller Ihrer Substrattische. Die 10 x 10 mm Vierkantstange (Baumstange) ist im Adapter gelagert und wird oben von einer Drehmomentstütze festgehalten. Der komplette Baum kann mit dem Sphere Adapter transportiert und gelagert werden.

 

Sphere Teller

Sphere Teller

Der Sphere Halter bildet mit den Hülsen und der Wirbelfeder eine Einheit. Das sonst übliche Einstellen der Mitnehmerfedern entfällt. Da die Mitnehmer für die dritte Rotationsachse im Inneren des Sphere Tellers vor Plasma und Schichtmaterial geschützt sind, erreichen sie eine hohe Zuverlässigkeit und Lebensdauer. Auch in sehr hohen PVD Anlagen sind alle Mitnehmer immer präzise positioniert.

 

Sphere Hülsen

Sphere Hülsen

Sphere Hülsen passen meist auf mehrere Tellergrößen. Die dünnste Wandstärke einer Sphere Hülse ist ca. 1mm, so dass eine Sphere Hülse im Durchmesser wenigstens 2mm größer sein muss als der Schaft, der eingesteckt wird. Schäfte mit geringerem Durchmesser können auch mit Reduzierhülsen eingesteckt werden.

 

Sphere Endrohre & Adapter

Sphere Endrohre & Adapter

Endrohre dienen dem Abschluß eines jeden Sphere Turms. Sie simulieren ähnliche Abschattung wie ein weiterer Sphere Teller und schützen die Mechanik im inneren des Sphere Tellers vor Beschichtung.

 

Wirbelfedern

Wirbelfedern

Wirbel treiben die Hülsen der Sphere Teller aus dem Inneren heraus an.