Colt

Colt

Colt Halterungen bieten hohe Flexibilität für rotationssymmetrische Substrate, die stirnseitig und auf dem Umfang beansprucht werden (Bohrer, Fräser, Stempel, Gewindeschneider, Reibahlen, Senker, etc.). 

Durch die Ausrichtung des Umfangs direkt zu den Verdampferquellen bei gleichzeitiger Rotation wird eine gleichmäßige Schichtrate entlang der Substratachse erzielt. Außerdem können verschiedene Produkte in verschiedenen Abmessungen zusammen chargiert werden, so flexibel wie mit kaum einem anderen Halterungssystem. Somit sind Colt Halterungen ideal für Lohnbeschichtungsbetriebe mit wechselnden Losgrößen und einem hohen Anteil an Mischchargen. 


Colt Teller

Colt Teller

 

Colt Teller bestehen aus einer Trägerplatte mit Aufnahmebohrung für Ihre Planetenwelle und aus Lagerstiften, die auf einem äußeren Teilkreis angeordnet sind. Die Trägerplatte ist aus Edelstahl und die auswechselbaren Lagerstifte aus reibungsarmen Lagerstahl (100 Cr 6) mit MoS2 beschichtet.

Colt Hülsen

Colt Hülsen

 

Colt Hülsen nehmen Werkzeuge und Bauteile mit zylindrischem Schaft auf. Alle Colt Hülsen haben am unteren Ende eine recht grobe Verzahnung, die mit einer Kickerfeder angetrieben werden kann. Außerdem besitzen alle Colt Hülsen am unteren Ende eine Aufnahmebohrung für den Lagerstift (meist Ø6,2mm).

Extensions

Extensions

 

Mit Extensions können Colt Hülsen in Schritten von 10mm verlängert werden. Dies verbessert die Ausnutzung Ihrer PVD Anlage, da Hülsen nicht mehr für die längste vorkommende Schaftabdeckung ausgelegt werden müssen.

Abstandshülsen

Abstandshülsen

 

Mit diesen Hülsen wird der Abstand zwischen den einzelnen Colt (oder Boxer) Ebenen eingestellt. Dabei können verschiedene Längen so kombiniert werden, dass sich der gewünschte Abstand ergibt. Es gibt verschiedene Durchmesser innen und außen. Hierbei gilt: Der Innendurchmesser sollte mit ca. 1mm Spalt über die Planetenachse passen. Kleinere Spalte können zum Verklemmen führen, größere dazu, dass die Hülsen außermittig sind und die Teller schief sitzen.