Sphere

Sphere Halterungen bieten hohe Wirtschaftlichkeit und beste Qualität für rotationssymmetrische Substrate, die überwiegend stirnseitig, aber auch am Umfang beansprucht werden (Bohrer, Fräser, Stempel, Gewindeschneider, Senker, etc.). Durch die Ausrichtung der Funktionsflächen in geeignetem Winkel zu den Verdampferquellen kann einerseits die Schichtdickenverteilung optimal auf die Anwendung eingestellt werden. Außerdem können so viele Produkte chargiert werden, wie mit kaum einem anderen Halterungssystem.

Zur Auswahl geeigneter Sphere Halter benötigen Sie fon Ihrem Substrat Durchmesser und Länge, sowie den maxiamlen Durchmesser ihrer Planetenteller. Durch die Neigung der Substratachsen werden Sphere Teller im Durchmesser größer, wenn sie mit längeren Substraten bestückt werden. Sphere Teller müssen auf spezielle Sphere Adapter gesteckt werden, damit die Substrate aus dem Inneren des Tellers angetrieben werden.