Sphere Adapter
Da bei der Sphere Halterung die Achse (Baumstange) nicht rotieren darf, sind für alle Beschichtungsanlagen spezielle Adapter erforderlich. Die Adapter passen mit der Unterseite auf die Planetenteller Ihrer Substrattische. Die 10 x 10 mm Vierkantstange (Baumstange) ist im Adapter gelagert und wird oben von einer Drehmomentstütze festgehalten. Der komplette Baum kann mit dem Sphere Adapter transportiert und gelagert werden.
Die Abmessungen vieler Beschichtungsnalagen sind bekannt und die Adapter erprobt. Adapter für weitere Anlagen können angfertigt werden, wenn die Abmessungen der drehenden Planetenwelle und die Höhe der Beschichtungszone sowie die Geometrie am oberen Ende der Beschichtungstürme bekannt sind.
Sphere Teller von gleicher Größe können direkt aufeinander gestapelt werden und sind dann automatisch zentriert und drehfest miteinander verbunden. Sphere Teller unterschiedlicher Größen können mit einer Adapterscheibe aufeinander gesetzt werden. Es muss immer der Teller mit weniger plätzen über dem Teller mit mehr Plätzen stehen.
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