Mehrfachhülsen
Diese Hülsen haben Bohrungen für mehrere Substrate auf einem Teilkreis. Die Hülsen werden angetrieben, jedoch drehen sich die Substrate nicht einzeln um ihre Achsen. Daher eignen sich diese Mehrfachhülsen meist für dünnere Substrate und für mittlere Anforderungen an die Schichtdickenverteilung. Durch Mehrfachhülsen kann die Kapazität der Beschichtungsanlage erheblich gesteigert werden.
Klassische Ansicht
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